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蠕动泵用于机械抛光液输送

时间:2020-04-27 09:18 点击:
化学机械抛光是指利用抛光机、抛光液、抛光布等工艺在一定条件下实现的高表面平整度的加工工艺,其中抛光液的供应由蠕动泵完成。
 
抛光液是一种不含硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂。抛光液具有良好的脱脂性能,防锈、清洁和抛光性能好,并能使金属制品呈现出真实的金属光泽。性能稳定、无毒、对环境无污染等等。
抛光液的类型:硅材料抛光液/蓝宝石抛光液/砷化镓抛光液/铌酸锂抛光液/集成电路多重铜线抛光液/集成电路隔离抛光液等
                                                                                                                                                                                                                                                                                         

大部分抛光液可通过CR蠕动泵输送:
蠕动泵的特殊结构,使泵液与泵体严格分离,泵的管路和泵头可完全分离,泵管可随时更换,蠕动泵在化学抛光过程中优势明显。
(1)无污染
化学抛光过程中,CR蠕动泵所输送的抛光液始终在泵管内流动,不接触泵体,特别是不接触机械传动机构,避免了化学机械抛光过程中的金属污染,也不会因为抛光液的腐蚀性而损坏泵体的机械部件。
(2)自吸能力
CR蠕动泵能够产生足够的真空吸力,工作时将抛光液从池中吸进泵管,从而消除了预充泵和吸水管的过程,也消除了淹没灌装的需要,因此不再需要将泵置于液源液位以下,使泵的安装位置更加灵活,更好地与抛光机本身集成。
(3)操作简单
CR蠕动泵操作非常简单,泵的管路安装、拆卸、锁紧均可根据需要随时要求,控制简单,速度控制可通过速度控制旋钮或操作面板来实现。此外,根据不同的流量要求,还可以在蠕动泵同时串联2个或3个泵头,实现了抛光液的多通道供应。

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